クリーンルーム川崎NS511

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詳細
仕様

クリーンルーム用に設計されたNSシリーズロボットNS511（フリップ付きシーリングマウント）RTZ移動が可能で、オプションの長さのリニア軸があり、追加のFOUP範囲に対応します。 300mmウェーハの取り扱いにおいて高い性能を発揮します。ソフトウェアとハードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧免責基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD

Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。

D60コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大7軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大16チャンネル。
出力信号：最大8チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

D61コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大12軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大96チャンネル
出力信号：最大80チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

主な仕様

軸数：4
ISOクラス5
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61

動作範囲（°）

Y軸（旅行JT1）： -
θ軸（回転JT2）：473°
Z軸（上下JT3）：440 mm
X軸（上下JT4）：816.5mm
F軸（回転JT5）：200°

ロボットアプリケーション

クリーンルーム

アプリケーション

部品の取り扱い , 部品の組み立て

写真

設計図