クリーンルーム用に設計されたNSシリーズロボットNS511（フリップ付きシーリングマウント）RTZ移動が可能で、オプションの長さのリニア軸があり、追加のFOUP範囲に対応します。 300mmウェーハの取り扱いにおいて高い性能を発揮します。ソフトウェアとハードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧免責基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大16チャンネル。
- 出力信号：最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸：最大12軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
- ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
- エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
- 入力信号：最大96チャンネル
- 出力信号：最大80チャンネル
- 対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数：4
ISOクラス5
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61
ISOクラス5
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61
動作範囲（°）
Y軸（旅行JT1）： -
θ軸（回転JT2）：473°
Z軸（上下JT3）：440 mm
X軸（上下JT4）：816.5mm
F軸（回転JT5）：200°
θ軸（回転JT2）：473°
Z軸（上下JT3）：440 mm
X軸（上下JT4）：816.5mm
F軸（回転JT5）：200°
ロボットアプリケーション
クリーンルーム
