川崎クリーンルームNX540

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詳細
仕様

FOUPからアライナーまで、そしてダブルマニピュレーターアームを使用してステージまで300枚/時（WPH）の高性能スペースを備えたウェーハステージに簡単に到達できる3リンクNX540構造は、 ISOクラス1の標準を満たし、電圧低下に直ちに対処する標準SEMI-F47システム、電圧に復帰したときの自動システムの再起動、環境への標準SEMI-S2保護、個人安全、システム衝突防止

コントローラーD

Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。

D60コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大7軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大16チャンネル。
出力信号：最大8チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

D61コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大12軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 2イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大96チャンネル
出力信号：最大80チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

主な仕様

軸数：4
ISOクラス1
リンク：3
繰り返し精度：±0.25 mm
コントローラ：D60 / D61

動作範囲（°）

θ軸（回転JT2）	318°
θ軸（回転JT2）	440 mm
Z軸（アップダウンJT3）	1,232 mm
Z軸（アップダウンJT3）	336°
X軸（in / out JT4）
W軸 - 下（回転JT6）	-
W軸 - 上（回転JT7）

ロボットアプリケーション

クリーンルーム

アプリケーション

部品の取り扱い , 部品の組み立て

写真

設計図

θ軸（回転JT2）	318°
θ軸（回転JT2）	440 mm
Z軸（アップダウンJT3）	1,232 mm
Z軸（アップダウンJT3）	336°
X軸（in / out JT4）
W軸 - 下（回転JT6）	-
W軸 - 上（回転JT7）