川崎クリーンルームNX510
NX510は、堅いアーム構造を持ち、狭いスペースで簡単にウェーハのステージに到達できるロボットです。また、任意の位置にあるFOUPも使用できます。 2つまたは3つのFOUPとトラックなしで使用することができ、ISOクラス1の標準を満たし、電圧降下に対する即時解決のSEMI-F47標準システムを満たし、電圧が回復したときの自動システムの再起動、環境と個人の安全、反衝突システム、高い直線性、位置付けと高い精度を提供します。
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸:最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア:RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
- エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
- 入力信号:最大16チャンネル。
- 出力信号:最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸:最大12軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア:RS232C x 2イーサネット。
- ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
- エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
- 入力信号:最大96チャンネル
- 出力信号:最大80チャンネル
- 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数:4
ISOクラス1
リンク:2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
ISOクラス1
リンク:2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
動作範囲(°)
θ軸 (回転JT2) |
330° |
440 mm | |
Z軸 (アップダウンJT3) |
832 mm |
336° | |
X軸 (in / out JT4) |
|
W軸 - 下 (回転JT6) |
- |
W軸 - 上 (回転JT7) |
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ロボットアプリケーション
クリーンルーム
アプリケーション
写真
設計図