川崎 Kawasaki Cleanroom NT620
クリーンルームアプリケーション用に設計されたNTシリーズロボットは、最大4つのFOUPを実現することができます。NT620ダブルアーム天井マウントは、アライナなしで1時間あたり280ウェーハ(WPH)、アライナなしで400 WPHの標準性能を提供します。ソフトウェアとハードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧サグ免除基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。
コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準イーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、すべての軸のための均一なサーボアンプ、標準的な環境、安全衛生SEMI S2、ISO 1ホワイトルーム。
D60コントローラの仕様
- サーボ完全デジタルシステム
- 制御軸:最大7軸
- 手動、半自動、全自動ティーチング。
- 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
- ハードウェア:RS232C x 1イーサネット。
- ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
- エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
- 入力信号:最大16チャンネル。
- 出力信号:最大8チャンネル
- 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
軸数:5
最大到達距離:1,250.7 mm
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
最大到達距離:1,250.7 mm
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
動作範囲(°)
θ1軸(回転JT2):340°
Z軸(上下JT3):600 mm
θ2軸(回転JT4):340°
H1軸(回転JT6):340°(380°)
H2軸(回転JT7):380°
Z軸(上下JT3):600 mm
θ2軸(回転JT4):340°
H1軸(回転JT6):340°(380°)
H2軸(回転JT7):380°
ロボットアプリケーション
クリーンルーム
アプリケーション
写真
設計図