Kawasaki Cleanroom NX540

O 3-link NX540, estrutura rígida de um único braço que pode facilmente alcançar os estágios das bolachas com um espaço de alto desempenho de 300 wafers por hora (WPH) de FOUP para o alinhador e, em seguida, no palco com um braço manipulador duplo, atende aos padrões de ISO Classe 1, sistema padrão SEMI-F47 de solução imediata para a queda de tensão e reinício do sistema automático quando a tensão é restaurada, proteção padrão SEMI-S2 para o ambiente, segurança pessoal, sistema anti-colisão

• Servo completo sistema digital
• Eixos controlados: 7 eixos máximos
• Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
• Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
• Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
• Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
• Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
• Sinal de saída: máximo de 8 canais
• Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV

• Servo completo sistema digital
• Eixos controlados: máximo de 12 eixos
• Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
• Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
• Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
• Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
• Sinal de entrada: 96 canais máximos
• Sinal de saída: máximo de 80 canais
• Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV