Kawasaki Cleanroom NX520

O NX520 com 2 links, estrutura de braço rígido duplo que pode facilmente alcançar os estágios da bolacha com um espaço de alto desempenho de 200 bolachas por hora (WPH) de FOUP para o alinhador e, em seguida, no palco com um manipulador de braço duplo, atende aos padrões da norma ISO 1, sistema padrão SEMI-F47 de solução imediata para a queda de tensão e reinício do sistema automático quando a tensão é restaurada, padrão de proteção ambiental SEMI-S2, segurança pessoal, sistema anti-colisão.

• Servo completo sistema digital
• Eixos controlados: 7 eixos máximos
• Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
• Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
• Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
• Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
• Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
• Sinal de saída: máximo de 8 canais
• Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV

• Servo completo sistema digital
• Eixos controlados: máximo de 12 eixos
• Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
• Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
• Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
• Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
• Sinal de entrada: 96 canais máximos
• Sinal de saída: máximo de 80 canais
• Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV