Kawasaki cleanroom NT520

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Informações
Especificações

Os robôs da série NT projetados para a aplicação da sala limpa podem atingir até quatro FOUPs, o robô de braço duplo NT520 fornece desempenho padrão de 280 wafers por hora (WPH) com alinhador e 400 WPH sem alinhador. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisão e cumprem os padrões de exoneração de tensão de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e segurança SEMI S2.

Controlador D

Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais, Saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.

Especificações do controlador D60

Servo completo sistema digital
Eixos controlados: 7 eixos máximos
Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
Sinal de saída: máximo de 8 canais
Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV

Especificações principais

Número de eixos: 5
Alcance máximo 1: 1.280 mm
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61

Gama de movimento (°)

Eixo θ1 (rotação JT2): 340 °
Eixo Z (down-down JT3): 470 mm
Eixo θ2 (rotação JT4): 340 °
Eixo H1 (rotação JT6): 340 ° (380 °) como opção
Eixo H2 (rotação JT7): 380 °

Aplicações de robô

Quarto limpo

Funções

Manuseio de peças , Montagem de peças

Fotos

Diagramas