Kawasaki Cleanroom NT420

Os robôs da série NT projetados para a aplicação da sala limpa podem atingir até quatro FOUP, o robô de braço duplo NT420 fornece desempenho padrão de 280 wafers por hora (WPH) com alinhador e 400 WPH sem alinhador. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisão e cumprem os padrões de exoneração de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e segurança SEMI S2.

• Servo completo sistema digital
• Eixos controlados: 7 eixos máximos
• Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
• Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
• Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
• Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
• Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
• Sinal de saída: máximo de 8 canais
• Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV

• Servo completo sistema digital
• Eixos controlados: máximo de 12 eixos
• Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
• Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
• Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
• Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
• Sinal de entrada: 96 canais máximos
• Sinal de saída: máximo de 80 canais
• Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV