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Cleanroom Kawasaki NS411
Robôs da série NS projetados para a aplicação da sala limpa NS411 (braço único com aba) com movimento RTZ com comprimentos opcionais de um eixo linear para uma faixa FOUP adicional. Eles fornecem alto desempenho no manuseio de wafers de 300mm. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisão e cumprem os padrões de exoneração de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e segurança SEMI S2.
Controlador D
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais , saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.
Especificação do controlador D60
Servo completo sistema digital
Eixos controlados: 7 eixos máximos
Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
Sinal de saída: máximo de 8 canais
Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Eixos controlados: 7 eixos máximos
Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
Sinal de saída: máximo de 8 canais
Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificação do controlador D61
Servo completo sistema digital
Eixos controlados: máximo de 12 eixos
Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
Sinal de entrada: 96 canais máximos
Sinal de saída: máximo de 80 canais
Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Eixos controlados: máximo de 12 eixos
Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
Sinal de entrada: 96 canais máximos
Sinal de saída: máximo de 80 canais
Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificações principais
Número de eixos: 4
ISO Classe 2
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
ISO Classe 2
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
Gama de movimento (°)
Eixo Y (viagem JT1): 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm / 4 FOUP: 1,670 mm
Eixo θ (rotação JT2): 325 °
Eixo Z (down-down JT3): 380 mm
Eixo X (down-down JT4): 798 mm
Eixo F (rotação JT5): 156 °
Eixo θ (rotação JT2): 325 °
Eixo Z (down-down JT3): 380 mm
Eixo X (down-down JT4): 798 mm
Eixo F (rotação JT5): 156 °
Aplicações de robô
Quarto limpo
