Кавасаки Kawasaki Cleanroom NX520

В ожидании более запаса

NX520 с 2 звеньями, жесткой структурой с двойным плечом, которая может легко достигать ступеней вафли с высокопроизводительным пространством в 200 вафелей в час (WPH) от FOUP до выравнивателя, а затем на сцену с двойным манипулятором, соответствует стандартам ISO Class 1, стандартная система SEMI-F47 для немедленного решения проблемы падения напряжения и перезапуска автоматической системы при восстановлении напряжения, стандартная защита окружающей среды SEMI-S2, личная безопасность, система противодействия столкновениям.

Контроллер D
D предназначены для разработки приложений для чистых помещений, включающих полный цифровой сервопривод, стандартный Ethernet-порт связи, компактную площадь, гибкую разработку различного программного обеспечения, независимую работу двух плеч и многоосевых элементов управления, унифицированные сервоусилители для всех осей, стандарты для окружающей среды , здоровье и безопасность SEMI S2, белая комната ISO 1.
Спецификация контроллера D60
  • Серво цифровая система
  • Управляемые оси: максимум 7 осей
  • Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
  • Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
  • Оборудование: RS232C x 1 Ethernet.
  • Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
  • Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Входной сигнал: максимум 16 каналов.
  • Выходной сигнал: максимум 8 каналов
  • Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Спецификация контроллера D61
  • Серво цифровая система
  • Управляемые оси: Максимум 12 осей
  • Ручное, полуавтоматическое, полностью автоматическое обучение.
  • Внешняя аварийная остановка, рядом с безопасностью, внешняя остановка.
  • Оборудование: RS232C x 2 Ethernet.
  • Программное обеспечение: K-Utility (оригинальная команда связи Kawasaki для чистых роботов).
  • Энергия: Напряжение: однофазное, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Входной сигнал: Максимум 96 каналов
  • Выходной сигнал: максимум 80 каналов
  • Совместимые серии роботов: NS, NT, NX, TT, TX и NV
Основные технические характеристики
 
Количество осей: 5
Класс ISO 1
Ссылка: 2
Повторяемость: ± 0,1 мм (центр пластины)
Контроллер: D60 / D61
 
Диапазон движения (°)
 
ось θ
(вращение JT2)
330 °
440 мм
Ось Z
(вверх JT3)
832 мм
336 °
Ось X
(вход / выход JT4)
 
Ось W - нижняя
(вращение JT6)
336 °
W - верхняя
(вращение JT7)
 

Приложения для роботов

Чистая комната

 


Области применения

Обработка деталей , Сборка деталей

Картинки

Диаграммы