川崎洁净室TT220
他TT220型伸缩式水平多关节机器人是TT系列的一部分,其特点是其坚固的伸缩基座,允许在高低位置有更高的速度,并能够接近4 FOUP。它具有双臂设计和优化速度和性能的抓手。符合SEMI-F47标准,即刻解决电压恢复时自动系统的电压下降和重新启动,标准SEMI-S2环境保护,人身安全和防碰撞系统。
控制器D
D控制器旨在开发无尘室应用,包括完整的数字伺服过程,标准的以太网通信端口,紧凑的占地面积,灵活的不同软件开发,双臂和多轴控制的独立操作,全轴统一伺服放大器,标准环境,健康和安全SEMI S2和白色房间ISO 1。
D60控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴:最多7轴
- 手动,半自动,全自动教学。
- 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
- 硬件:RS232C x 1以太网。
- 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
- 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
- 输入信号:最多16个通道。
- 输出信号:最多8个通道
- 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
D61控制器的规格
- 伺服完整的数字系统
- 受控轴:最多12个轴
- 手动,半自动,全自动教学。
- 外部紧急停车,接近安全,外部停车。
- 硬件:RS232C x 2以太网。
- 软件:K-Utility(清洁机器人的原川崎通信命令)。
- 能量:电压:单相,AC208 V±10%,50/60 Hz。标准:SEMI F47。
- 输入信号:最多96个通道
- 输出信号:最多80个通道
- 兼容机器人系列:NS,NT,NX,TT,TX和NV
主要规格
轴数:5
最大范围:1,230毫米
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
ISO 1级
最大范围:1,230毫米
重复性:±0.1毫米(晶圆中心)
控制器:D60 / D61
ISO 1级
运动范围(°)
θeje(rotaciónJT2):340°
Z轴(上下JT3):740毫米
θ轴(旋转JT4):340°
H1轴(旋转JT6):340°(380°)
H2轴(旋转JT7):340°(380°)
Z轴(上下JT3):740毫米
θ轴(旋转JT4):340°
H1轴(旋转JT6):340°(380°)
H2轴(旋转JT7):340°(380°)
机器人应用
整理房间
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图表