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川崎洁净室NX520

无现货

信息
规格

NX520采用双链路结构，刚性双臂结构，可以很容易地从FOUP到对准器，然后到达双臂机械手的舞台，达到每小时200片晶圆（WPH）的高性能空间，达到标准ISO 1级标准SEMI-F47系统即刻解决电压恢复时自动系统的电压下降和重启，标准SEMI-S2环保，人身安全，防撞系统。

控制器D

D控制器旨在开发无尘室应用，包括完整的数字伺服过程，标准的以太网通信端口，紧凑的占地面积，灵活的不同软件开发，双臂和多轴控制的独立操作，全轴统一伺服放大器，标准环境，健康安全SEMI S2，白色房间ISO 1。

D60控制器的规格

伺服完整的数字系统
受控轴：最多7轴
手动，半自动，全自动教学。
外部紧急停车，接近安全，外部停车。
硬件：RS232C x 1以太网。
软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
输入信号：最多16个通道。
输出信号：最多8个通道
兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV

D61控制器的规格

伺服完整的数字系统
受控轴：最多12个轴
手动，半自动，全自动教学。
外部紧急停车，接近安全，外部停车。
硬件：RS232C x 2以太网。
软件：K-Utility（清洁机器人的原川崎通信命令）。
能量：电压：单相，AC208 V±10％，50/60 Hz。标准：SEMI F47。
输入信号：最多96个通道
输出信号：最多80个通道
兼容机器人系列：NS，NT，NX，TT，TX和NV

主要规格

轴数：5
ISO 1级
链接：2
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61

运动范围（°）

θ轴（旋转JT2）	330°
	440毫米
Z轴（上下JT3）	832毫米
	336°
X轴（进/出JT4）

W轴 - 较低（旋转JT6）	336°

W轴 - 上（旋转JT7）

机器人应用

整理房间

应用

零件处理 , 零件组装

图片

图表