洁净室川崎NS511

无现货

NS系列机器人设计用于洁净室应用NS511（带翻盖的天花板安装），带有RTZ运动，可选长度为线性轴，用于额外的FOUP范围。它们在处理300mm晶圆时提供了高性能。软件和硬件配备了碰撞检测功能，并符合SEMI F47电压无罪标准和SEMI S2环境，健康和安全标准。

控制器D

D控制器旨在开发无尘室应用，包括完整的数字伺服过程，标准的以太网通信端口，紧凑的占地面积，灵活的不同软件开发，双臂和多轴控制的独立操作，全轴统一伺服放大器，标准环境，健康安全SEMI S2，白色房间ISO 1。

D60控制器的规格

D61控制器的规格

主要规格

轴数：4
ISO 5级
重复性：±0.1毫米（晶圆中心）
控制器：D60 / D61

运动范围（°）

Y轴（旅行JT1）： -
θ轴（旋转JT2）：473°
Z轴（上下JT3）：440毫米
X轴（上下JT4）：816.5毫米
F轴（旋转JT5）：200°

机器人应用

整理房间

图片

图表