Os robôs da série NT projetados para a aplicação da sala limpa podem atingir até quatro FOUP, a montagem de teto duplo NT620 oferece desempenho padrão de 280 wafers por hora (WPH) com alinhador e 400 WPH sem alinhador. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisão e cumprem os padrões de exoneração de tensão de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e segurança SEMI S2.
Controlador D
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais, Saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.
Especificação do controlador D60
- Servo completo sistema digital
- Eixos controlados: 7 eixos máximos
- Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
- Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
- Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
- Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
- Sinal de saída: máximo de 8 canais
- Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificações principais
Número de eixos: 5
Alcance máximo 1: 1.250,7 mm
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
Alcance máximo 1: 1.250,7 mm
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
Gama de movimento (°)
Eixo θ1 (rotação JT2): 340 °
Eixo Z (down-down JT3): 600 mm
Eixo θ2 (rotação JT4): 340 °
Eixo H1 (rotação JT6): 340 ° (380 °) como opção
Eixo H2 (rotação JT7): 380 °
Eixo Z (down-down JT3): 600 mm
Eixo θ2 (rotação JT4): 340 °
Eixo H1 (rotação JT6): 340 ° (380 °) como opção
Eixo H2 (rotação JT7): 380 °
Aplicações de robô
Quarto limpo
